ZEISS EVO MA 10扫描电子显微镜
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一、仪器名称
中文名称：钨灯丝扫描电子显微镜
英文名称：Scanning Electron Microscope
二、型号：ZEISS EVO MA 10
三、生产厂家：德国蔡司公司ZEISS
四、仪器简介：
ZEISS EVO MA 10扫描电子显微镜是一台钨灯丝扫描电子显微镜，配备牛津X-射线能谱仪、EBSD取向分析系统，可进行材料的微观形貌、组织、成分分析，材料断口分析和失效分析，材料实时微区元素的定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体或晶粒的相鉴定，晶体取向和取向差异的测量，材料微织构分析等。
五、仪器主要特点及技术指标：
1．分辨率： 100 nm@20KV （二次电子）；
2. 放大倍率：15-10000
, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；
3. 加速电压或着陆电压范围：7kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；
4. 探针电流：最大电流≤100nA；
5. 可容纳最大样品直径 200mm，最大样品高度 100mm；
6. 五轴中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X=80mm，Y=100mm，Z=35mm，倾斜范围0°-90°，旋转≥360°（连续旋转）；
六、仪器主要功能及其用途：
1. 针对材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料）、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。（液体样品必须充分烘干后才可进行测试）
2. 针对材料进行实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。
3. 针对材料进行晶体取向及取向差、微观织构等分析
七、仪器图片
八、应用实例
1. 形貌分析：
2. EDS元素定性分析：
2.1点扫描
Element | Weight% | Atomic% |
Ag L | 100.00 | 100.00 |
Totals | 100.00 |
2.2 线扫描
2.3 面扫描
2.4 EBSD分析
九、仪器收费标准
SEM（SE2+BSE） | EDS | 喷金 | ||||
每小时 | 每个样品 | 点扫描 | 线扫描 | 面扫描 | ||
材料学院 | 300 | 40 | 40 | 50 | 60 | 30 |
校内 | 300 | 40 | 50 | 70 | 80 | 80 |
校外 | 300 | 50 | 100 | 100 | 100 | 100 |
注：收费总额=时间收费；不满半小时按照半小时计算。
十、存放地点及联系人：
存放地点：彩石校区主楼218
联系人：孙老师，13256157418